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        • 硅片清洗機的工作原理和操作說明

          點擊次數:63 發布時間:2022-07-25

           
            硅片清洗機是利用超聲波清洗技術,在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內往復掃動,帶動清洗液形成細微回流,使工件污垢在被超聲剝離的同時迅速帶離工件表面,提高清洗效率。
           
            一、硅片清洗機的工作原理是什么
           
            1、真空脫氣,有效去除液體中氣體,且運用拋動功能,增強超聲對工件表面油污和污垢的清洗能力,縮短清洗時間。
           
            2、洗籃轉動機構,重疊不可分拆的零件或形狀復雜的零件,也可做到均勻完整的清洗。
           
            3、減壓真空系統,能吸出盲孔、縫隙及疊加零件之間的空氣,使超聲波在減壓的狀態下產生驚人的清洗效果。
           
            4、真空蒸汽清洗+真空干燥系統,利用蒸汽洗凈做養護,實現清洗效果。
           
            5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加熱的全過程在減壓真空中進行,更有效地確保了安全性。
           
            6、防爆配件及簡潔加熱系統,進一步提高安全度。
           
            二、硅片清洗機的操作說明
           
            1、欲清洗工件放入料框內專用固定夾內,由人工將料框放上入料口,等工位機械手自動將料框送入清洗機本體,上下提升機構依照PLC程序將料框搬送到相應高度位置。
           
            2、完成對工件的清洗、噴淋、漂洗、慢提拉脫水和熱風干燥后、送至清洗機出口,運送到卸料臺出料,等工位機械手由氣缸橫向驅動,直線滑軌導向。
           
            3、上下提升由馬達驅動,直線導軸導向,慢提拉提升機構由變頻馬達驅動,直線滑塊導向,上下料由上下提升機構獨立完成,采用觸摸屏操作系統,有手動和自動切換開關及有關操作按鈕,能對整個運行過程實行控制。
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