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        • 研發用等離子去膠機:Alpha等離子系統ASTRO96是一款低壓微波等離子系統,用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的先進芯片封裝清洗,以及倒裝芯片清洗。ASTRO96是全自動等離子系統,待處理的基片通過片匣緩存區載入,清洗完成后放回同一個片匣緩存區。
        • 等離子去膠機:NANO-MASTER 等離子去膠和等離子灰化機是專門設計用來滿足晶圓批處理或單晶片處理,具有廣泛應用,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制,可以配套不同的等離子源,加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應用。
        • 產品型號:SWC系列/LSC系列

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          兆聲清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕。該系統配套機械手,也可以升級為多系統的集成架構。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
        • 產品型號:SWC系列/LSC系列

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          硅片清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
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