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        • 產品名稱:全自動熱蒸發系統

          產品型號:NTE-3500(A)

          產品報價:

          產品特點:NTE-3500(A)全自動熱蒸發系統:全自動立式熱蒸發系統,在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應用。設備具有占地面積小、干凈、均勻、可控及可重復的工藝特點。具有低價格, 高性能以及高能力的特點,可滿足于客戶研發及小規模生產的應用要求,該系統可以在設定的RMS電流下,或者在閉環的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調節RMS電流以維持恒定的沉積速度。

          NTE-3500(A)全自動熱蒸發系統的詳細資料:

          熱蒸發鍍膜

          NTE-3500(A)全自動熱蒸發系統概述:NANO-MASTER NTE-3000是一款PC計算機控制的臺式熱蒸發系統,在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應用。設備的設計經過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實現干凈、均勻、可控及可重復的工藝過程。它們具有低價格, 高性能以及高能力的特點,可滿足于客戶研發及小規模生產的應用要求。 NTE-3000熱蒸發系統可以在設定的RMS電流下,或者在閉環的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調節RMS電流以維持恒定的沉積速度。

          NTE-3500蒸發系統是一個緊湊型系統,跟我們的濺射系統共享一個共同的平臺;比如:櫥柜,腔體,真空系統,計算機控制架構等方面都是一樣的。*的區別是一個使用磁控管,另一個使用加熱坩堝因此,在我們濺射系統上的許多技術同樣適用到我們的熱蒸發系統中,比如:樣品臺的加熱,旋轉,偏斜;涂覆前的等離子清洗,膜厚監測,序列或同時操作多源;鐘罩、鋁或不銹鋼腔體;預真空鎖以及自動裝片/取片系統等。

          NTE-3500NSC-3500很像除了樣片臺是在頂部并且樣片是面朝下固定。因為有許多的共同點,我們可以提供NTS系列的系統(NTS-3000, NTS-3500,NTS-4000),具有濺射和蒸發兩種能力。通過計算機控制系統,我們可以在同一套系統上提供濺射和蒸發能力,這樣可以充分利用濺射和蒸發技術,而無須中斷真空。

          Nano-Master的蒸發系統的另一大*優勢是持續性地控制加熱器電流,而不是震蕩式控制加熱器。系統裝配固態電流控制電路,這點跟許多系統采用的自藕變壓器不同。在該系統中,電流或者RMS值的持續時間被控制。用戶可以選擇一個設定值,它實際上是設定交流電半周期的部分,會出現跟鎢加熱器電線的交叉。這樣,系統可以實現精確快速的電流控制,這使得閉環溫度控制就可以實現。此外,電流控制以及溫度控制,可以滿足蒸發的苛刻要求,無論是對有機材料還是對金屬。我們測量坩堝TBRMS電壓,RMS電流,和溫度,并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測量溫度??折釄宓募訜釋嶒灲Y果如下圖所示,這些加熱實驗結果是在208V線電壓下進行的。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測量。

          通過以上的溫度與電流的關系,我們可以設定并控制電流以達到坩堝內想要的溫度,溫度可以通過熱電偶來測量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時間的常量將會發生變化,然而坩堝內的溫度和熱電偶的測量值之間的關系將不會變化。因此,我們的技術可以實現坩堝內的溫度不依賴于大部分放入的材料,甚至不受線電壓值的影響。

          NTE-3500(A)全自動熱蒸發系統產品特點:

          • 至大可支持6"(150mm)的晶圓片
          • 自動上下載片,帶預真空鎖
          • 沉積速度可控
          • 旋轉的樣品臺
          • 雙坩堝
          • 2KVA SRC控制電源
          • 晶振式膜厚監控儀
          • 通過LabView軟件實現PC計算機控制

          NTE-3500(A)相似產品型號:

          • NTE-4000  基于PC計算機全自動控制的獨立系統
          • NTE-3500  基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
          • NTE-3000  基于PC計算機全自動控制的雙蒸發源臺式系統
          • NTE-1000  計算機控制的單蒸發源臺式系統

           如果你對NTE-3500(A)全自動熱蒸發系統感興趣,想了解更詳細的產品信息,填寫下表直接與廠家聯系:

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