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        • 產品名稱:NMC-4000(M)PA-MOCVD設備

          產品型號:

          產品報價:

          產品特點:NMC-4000(M)PA-MOCVD設備:針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制。

          NMC-4000(M)PA-MOCVD設備的詳細資料:

          等離子輔助MOCVD技術

          NMC-4000(M)PA-MOCVD設備概述:

          NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,完全的安全互鎖。

          目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統,該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

          NMC-4000(M)PA-MOCVD設備應用:

          • Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

          特點:

          • 獨立系統
          • 14”不銹鋼立方體腔體
          • 1次在8”樣品臺上處理16”晶圓片或在12”樣品臺上處理54”片子
          • 加熱的氣體管路
          • RF等離子源,自動調諧
          • 淋浴頭氣體分布
          • 1100°C的旋轉樣品臺
          • N2沖洗
          • 手動放置晶圓片

           

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