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        • Q240微波等離子去膠清洗機:Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統,可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統為計算機全自動控制的系統。 典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。
        • Q235微波等離子去膠清洗機:Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統,可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統為計算機全自動控制的系統。 典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。
        • Q150微波等離子去膠清洗機:Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統,可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統為計算機全自動控制的系統。 典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。
        • ASTRO96全自動微波等離子清洗系統:Alpha等離子系統ASTRO96是一款低壓微波等離子系統,用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的先進芯片封裝清洗,以及倒裝芯片清洗。ASTRO96是全自動等離子系統,待處理的基片通過片匣緩存區載入,清洗完成后放回同一個片匣緩存區。
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